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CKD集成化供氣系統

簡(jiǎn)要描述:CKD集成化供氣系統
型號: IAGD5
省空間且提高了維護性的工藝氣體供給系統。
從設計到制作均可根據客戶(hù)需要的流程進(jìn)行。
1.125inch、采用W密封。

  • 產(chǎn)品型號:IAGD5
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
  • 更新時(shí)間:2024-04-07
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:188

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詳細介紹
品牌CKD/日本喜開(kāi)理產(chǎn)地類(lèi)別進(jìn)口
應用領(lǐng)域化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子,綜合

CKD集成化供氣系統

型號: IAGD5

行業(yè)

半導體制造工序(前工序)

化學(xué)氣體供給設備用元件

產(chǎn)品特點(diǎn):【集成單元】
通過(guò)緊湊集成標準化部件,構建工藝氣體供氣線(xiàn)。
實(shí)現了可高速置換工藝氣體和惰性氣體的理想流路。
從設計到裝配、檢查完成后交付,可減少客戶(hù)的工時(shí)。

CKD集成化供氣系統
型號: IAGD5   衍生系列
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ckd集成化供氣系統IAGD5

化學(xué)液體用氣動(dòng)閥的新標準。

它是一款支持各種壓力、溫度和流體條件的端產(chǎn)品。

它可以統一使用中所有細分的模型。


行業(yè)

半導體制造過(guò)程(預處理)

化學(xué)液體供應設備的組件

ckd集成化供氣系統IAGD5



備有最大扭矩22和45N·m兩種尺寸。

配備 4、194 和 304 個(gè)脈沖的編碼器分辨率,可實(shí)現 ±2 秒的重復精度。

產(chǎn)品可以直接從頂部或底部安裝,無(wú)需拆下蓋子。這顯著(zhù)減少了工作時(shí)間,尤其是從頂部安裝時(shí)?!揪S護方便】

滑塊側面設有可直接從外部供給油脂的油脂供給口。不分解主體,從一處輸送油脂,維護導軌和滾珠絲杠。[低塵規格選項]

提供相當于 2.5 級(ISO14644-1 標準)的清潔度。通過(guò)提供真空端口實(shí)現低發(fā)塵。非常適合在清潔環(huán)境中運輸。

* 有關(guān)清潔等級的詳細信息,請參閱產(chǎn)塵特性頁(yè)面上的目錄。[NEW] 添加了低粉塵規格選項

[NEW] 添加了電機制造商支持

電動(dòng)執行器的無(wú)電機規格,允許您安裝和控制每個(gè)制造商的電機。

將主體和導軌一體化的外軌系統結構緊湊,剛性高。主體外側設有供油口,主體頂部可安裝,安裝維護方便。


沖程:50~1250mm

最大搬運質(zhì)量(水平):110kg[NEW] 添加了低粉塵規格選項

[NEW] 添加了電機制造商支持

電動(dòng)執行器的無(wú)電機規格,允許您安裝和控制每個(gè)制造商的電機。

將主體和導軌一體化的外軌系統結構緊湊,剛性高。主體外側設有供油口,主體頂部可安裝,安裝維護方便。


沖程:50~1250mm



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